「「MEMS 2009」レポート〜プリンタヘッドやカメラシャッタなどに注目」
http://robot.watch.impress.co.jp/cda/news/2009/01/30/1583.html
・圧電方式のインクジェットプリンタヘッドで1200ドット/インチを実現
・カメラのメカニカルシャッタをウエハープロセスで製造(大量生産による低コスト化)
・オーディオ帯域をフルカバーするシリコンマイク
以上3件の研究成果を紹介しています。
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「「MEMS 2009」レポート〜プリンタヘッドやカメラシャッタなどに注目」
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・圧電方式のインクジェットプリンタヘッドで1200ドット/インチを実現
・カメラのメカニカルシャッタをウエハープロセスで製造(大量生産による低コスト化)
・オーディオ帯域をフルカバーするシリコンマイク
以上3件の研究成果を紹介しています。