Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

MEMS 2009現地レポートその2です

RobotWatchに執筆、掲載中です。


「「MEMS 2009」レポート〜水面の表面張力を制御した超小型ボートが推進」
http://robot.watch.impress.co.jp/cda/news/2009/01/29/1579.html


・眼圧センサの出力を無線で取り出す
・表面張力を制御して小さな船を推進させる
CMOSプロセスと互換のある湿度センサ


以上の三つの研究成果を紹介しています。
湿度センサの論文には半導体ベンダーのMaximが名前を連ねているので、製品化がありそうな気がします。研究の完成度もかなり高いですし。