Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

はじめての半導体リソグラフィ技術

「はじめての半導体リソグラフィ技術」
はじめての半導体リソグラフィ技術 (ビギナーズブックス)
ISBN:4769312245


2月下旬にMicrolithography 2006を取材するので読みました。
リソグラフィ、電子線リソグラフィ、X線リソグラフィ、EUV、
インプリントなどのいろいろなリソグラフィ技術について学べます。
リソグラフィに関する記述が当然ながら豊富です。
参考にさせていただきました。


半導体メーカーや製造装置メーカーなどで、
リソグラフィ関連のお仕事をこれからされる方にお薦めです。