2006-03-05 はじめての半導体リソグラフィ技術 書評 「はじめての半導体リソグラフィ技術」 ISBN:4769312245 2月下旬にMicrolithography 2006を取材するので読みました。 光リソグラフィ、電子線リソグラフィ、X線リソグラフィ、EUV、 インプリントなどのいろいろなリソグラフィ技術について学べます。 光リソグラフィに関する記述が当然ながら豊富です。 参考にさせていただきました。 半導体メーカーや製造装置メーカーなどで、 リソグラフィ関連のお仕事をこれからされる方にお薦めです。