Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

ASMLの液浸ステッパー

45nmというもの凄い解像力を誇るArF液浸露光装置をASMLが発表しました。
MYCOM PC WEBの特派員ということで発表会に出席したので、記事をこちらに掲載しております。
http://pcweb.mycom.co.jp/news/2005/07/14/004.html


他誌では下記サイトで記事が出てます(とりあえず見つけた範囲です)。

Tech-On!
http://techon.nikkeibp.co.jp/article/NEWS/20050713/106709/?ST=silicon
むむ、負けたかも。光学系のところ良く分かりません(負け惜しみ)。


ASCII24
http://ascii24.com/news/i/tech/article/2005/07/13/656957-000.html
「最先端のプロセスではウエハーとレンズの間に液体(浸水液)を通すことでより微細な加工ができる“液浸”タイプが用いられている。」とあるのが引っ掛かる。半導体製品の生産にすでに使われているとの誤解を招きそう。


EDリサーチ
http://www.edresearch.co.jp/mtb/0507/072.html
日本市場における展開の情報が少し詳しいです。「・・・している」の語尾が数回続くのは物書きとしてはうんざり。