Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

2018-12-21から1日間の記事一覧

コラム「ストレージ通信」を更新。3D NANDのメモリホール形成におけるエッチングと成膜の難度を軽減

EETimes Japan様から頂いておりますコラム「ストレージ通信」を更新しました。3D NANDフラッシュメモリの製造とスケーリングに関するシリーズの第14回となります。eetimes.jp高アスペクト比のメモリホール形成に必要なエッチングと成膜の技術的な難しさを緩…