EETimes Japan様から頂いておりますコラム「ストレージ通信」を更新しました。3D NANDフラッシュメモリの製造とスケーリングに関するシリーズの第14回となります。eetimes.jp高アスペクト比のメモリホール形成に必要なエッチングと成膜の技術的な難しさを緩…