エッチング装置やアッシング装置などのベンダーである株式会社エフオーアイが自己破産を申請しました。粉飾決算の容疑で強制捜査を受けた直後です。 ソース：帝国データバンク大型倒産速報 http://www.tdb.co.jp/tosan/syosai/3277.html 引用：「200mm／300m…