「「MEMS 2009」レポート〜プリンタヘッドやカメラシャッタなどに注目」 http://robot.watch.impress.co.jp/cda/news/2009/01/30/1583.html ・圧電方式のインクジェットプリンタヘッドで1200ドット/インチを実現 ・カメラのメカニカルシャッタをウエハープロ…