PC Watch様の依頼で取材してきました。 リソグラフィ技術はArF液浸がさらに延命され、28nm技術はほぼ確実にいけそうです。 EUV露光または電子ビーム直接描画の出番は、22nm以降になりそうです。午後の始めには記者会見が開かれたので、記事にはその様子も少…