を取材しました。技術研究組合「極端紫外線露光システム技術開発機構(EUVA:Extreme UltraViolet Lithography System Development Association)」の研究成果報告会です。 マイコミジャーナル：「EUVAの研究成果最終報告会 - 2011年の量産目指して開発が急速に…