MEMS（マイクロエレクトロメカニカルシステム）とはミクロンオーダーの微小な電気機械システムのことです。映画「ミクロの決死圏」をご存知でしょうか。人間を小さくはできませんが、あの世界を実現できるデバイスが、MEMSなのです。 最近では欧州を中心に、…