Electronics Pick-up by Akira Fukuda

日本で2番目に(?)半導体技術に詳しいライターのブログ

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2006-04-18から1日間の記事一覧

半導体製造に不可欠な洗浄技術を解説

「はじめての半導体洗浄技術」 ISBN:4769312121 半導体製造では、シリコンウエハーの表面を清浄に保つ必要があります。 そのために塵埃や金属イオン、自然酸化膜などを取り除き、 しかも塵埃などが付着しないように表面を処理する技術が洗浄技術です。 真空…