EETimes Japam様から頂いておりますコラム「デバイス通信」を更新しました。
imecがシリコンフォトニクス技術について講演した内容を、補完しつつご紹介するシリーズです。
imecが研究中のシリコンフォトニクス・プラットフォーム (1/2) - EE Times Japan
imecもシリコンフォトニクスを研究しています。そのプラットフォーム技術を今回はご報告しております。
大口径シリコンウエハーのシリコン半導体用プロセス技術で、多種多様な光回路部品を作り込めることが分かります。
光導波路、光変調器、光ファイバ結合器などです。
個人的にはヒーター(温度調節用)を金属配線で作る、というのが面白いです。
個々の光回路部品に関する説明は、これから述べていきます。ご期待くださいませ。